🛠️ 에드워드(EDWARDS) EZM18 로터리 펌프 수리

🛠️ 에드워드(EDWARDS) EZM18 로터리 펌프 정기 수리

안녕하세요, 그린뉴메틱입니다. 오늘은 반도체/디스플레이 공정에서 널리 사용되는 EDWARDS(에드워드)사의 E2M18 모델 로터리 진공 펌프에 대한 수리 및 오버홀 사례를 공유 드리고자 합니다. 펌프의 성능 유지와 장비 안정화를 위해 주기적인 점검과 수리는 필수입니다.

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1. 🔍 펌프 입고 및 초기 점검 (Fail 원인 분석)

• 모델명: EDWARDS E2M18

• 서비스 타입: 정기 수리 (Routine Maintenance)

• 발생 특이사항: 오일 오염

고객사에서 정기 수리를 위해 입고된 E2M18 펌프의 초기 점검 결과, 내부 오일 오염이 확인되었습니다. 오염된 오일은 펌프 내부 부품의 마모를 가속화하고 진공 성능 저하의 주된 원인이 됩니다.

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2. 📝 분해 검사 결과 및 수리 내용

입고된 펌프는 즉시 숙련된 엔지니어에 의해 안전하게 분해되었습니다. 분해 과정에서 촬영된 사진과 확인된 주요 문제점은 다음과 같습니다.

📌 Module 내부 오일 오염 및 Seal housing Oil Leak 발생, Motor fan cover 파손이 주요 문제점으로 확인되었습니다. 특히 씰 하우징에서의 오일 누유는 EZM18 모델에서 흔히 발생하는 문제로, 진공 효율 저하와 직결됩니다.

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수리 내용 (Maintenance & Repair)

확인된 문제점을 해결하고 펌프의 성능을 복원하기 위해 다음과 같은 수리 작업이 진행되었습니다.

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기본 수리 내용 (Basic Maintenance)

◦ Pump 입고 및 System 및 Module 분해

◦ Parts & Acc’y 세정: 모든 부품의 세척 및 오염 물질 제거

◦ Parts 정품 교체 및 소모품 교체 (씰, O-링 등)

◦ 조립 및 Setting ◦ 배선 및 Cable 점검

◦ 성능 테스트 및 Final Visual Inspection

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Parts 교환 및 추가 수리 내용 (Additional Repair)

◦ 오일 누유가 발생한 Seal housing 교체

◦ 파손된 Motor fan cover 교체

◦ 오염된 오일 제거 및 광유(Mineral Oil) 주입

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✨ 수리 완료 및 성능 테스트

모든 수리 및 부품 교체를 마친 후, 펌프는 재조립되었고, 표준 규격에 따른 최종 성능 테스트를 통과했습니다. 오일 오염 및 누유 문제가 해결되어 장비 안정성이 크게 향상되었습니다.

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그린뉴메틱은 EDWARDS 펌프를 포함한 다양한 진공 펌프에 대해 정품 부품과 전문적인 기술력으로 완벽한 정기 유지보수 및 긴급 수리를 제공하고 있습니다. 진공 펌프의 유지보수, 수리, 또는 기술 상담이 필요하시다면 언제든지 문의해 주세요. 고객님의 생산성 향상을 위해 최선을 다하겠습니다.

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📞 그린뉴메틱 문의전화: 010 – 7392 – 9809